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射頻電源：頻率超過1M（兆）稱其為射頻。射頻電源包括：等離子體電源、介質加熱電源。
等離子體電源：等離子體就是正、負離子相等的帶電粒子系統。射頻等離子體發生器的頻率2～6.75M。當正負帶電粒子碰撞中和時，產生電弧，等離子體火焰絕對純凈，沒有污染，其溫度可達6000～10000℃，可完成特殊材料的加工。
射頻等離子
介質加熱電源：與傳統的感應加熱原理沒有區別，也是用感應線圈作輸出，用于加熱某些不導電的材料和半導體材料。
參考數據：
